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2205i9C系列

NSR－2205i9C是应用于超大规模集成电路生产的新型缩小型投影光刻机，具有较高分辩率及精度，其电脑操作系统经过升级，可提供友好的操作工作站，使操作更简捷方便。

该机型包括LSA（激光分步对准），LIA（激光图像对准），FIA（曝光图像对准）三类对准系统，可保证高速，精确的对准操作，更由于增加了EGA（全程对准）功能，还可实现具有柔性的高性能的全程对准及多种参数修正功能。




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