Type equipments
Resolution (um)
Exposure wave length(nm)
Piece diameter
(mm)
　NSR-1505G3A
1.0
436
100～150
　NSR-1505G4C
0.8
436
100～150
　NSR-1505G4DL
0.75
436
100～150
　NSR-1505G6D
0.75
436
100～200
　NSR-1505G6E
0.65
436
100～200
　NSR-1505i6A
0.75
365
100～200
　NSR-1505i7A
0.65
365
100～200
　NSR-1755i7A
0.5
365
100～200
　NSR-1755G7A
0.65
436
100～200
　NSR-1755Ex8A
0.45
248
100～200
　NSR-2005G8C
0.55
436
150～200
　NSR-2005i8A
0.5
365
150～200
　NSR-2005i9C
0.45
365
150～200
　NSR-2005i10C
0.45
365
150～200
　NSR-2005Ex8A
0.35
248
150～200
　NSR-2005Ex10B
0.32
248
150～200
　NSR-4425i
0.8
365
150～200
　NSR-2205i11D
0.35
365
150～200
　NSR-2205i11C
0.45
365
150～200
　NSR-2205i12D
0.35
365
150～200
　NSR-2205i12C

0.45
365
150～200
　NSR-S202A
0.2
248
1